Imec opent vierde cleanroom

Smetvreesparadijs is broedplaats voor high-techonderzoek

14 maart 2016
Artikel
Auteur(s): Margot De Boeck
Onderzoekscentrum Imec bouwde een vierde cleanroom waar je pas na een speciale douche binnen mag. Een paradijs voor smetvreespatiënten, maar vooral een broedplaats voor high-tech onderzoek.

“Deze cleanroom is een uitbreiding van onze bestaande ruimtes. Doordat de chips steeds kleiner worden, hadden we nieuwe toestellen nodig en kampten we met plaatsgebrek,” vertelt senior vice president process technology bij Imec, An Steegen.

Imec produceert chips op wafers, schijven waar patronen op worden geprint. De lijnbreedte van die patronen is bij Imec zeer klein, waardoor ze op één schijf veel meer chips kunnen produceren. “We doen de voorontwikkeling van de krachtigste chips voor de nieuwe generatie mobiele telefoons en servers en staan zo aan de wereldtop,” vervolgt Steegen trots.

Gevaarlijk haar

De geavanceerde technologie moet worden uitgevoerd in stofvrije ruimtes, omdat het kleinste stofje het productieproces kan verstoren. “De lijnbreedtes bij Imec zijn 5000 keer kleiner dan een menselijke haar. Als er een haar op een wafer valt, is die goed voor de vuilnisbak,” vertelt Robert Puers, directeur van de cleanrooms in het ESAT-departement van de KU Leuven.

"Studenten krijgen een opleiding voor ze de cleanroom binnen mogen"

Robert Puers, directeur clean room ESAT

“De kost van de wafer kan tussen de 200 en de 500 euro bedragen. De werkelijke kost van die slingerende haar ligt echter veel hoger, afhankelijk van waar het in productieproces is fout gelopen. De prijs voor een patroon ligt tussen de 50.000 en de 100.000 euro.”

Een cleanroom betreed je dus niet zomaar. “Je doet een speciaal pak aan en gaat door een luchtdouche die je helemaal proper blaast. Je kan dat vergelijken met de blazers aan het einde van de carwash. Het laatste stuk zijn kleefmatjes, als een grote omgekeerde scotch tape, waar je over moet.”

In de cleanroom zorgen grote ventilatoren en filters voor verse lucht. Docent Bouwkunde aan de KU Leuven Dirk Saelens vertelt: “Met de studenten bouwkunde bezoeken we elk jaar een cleanroom van Imec. De ventilatoren die daar staan hebben een doorsnede van een aantal meters. Als die aanstaan, word je bijna meegezogen.”

"Als er een haar op een wafer valt, is die goed voor de vuilnisbak"

Robert Puers, directeur clean room ESAT

Adrenaline

Puers heeft zelf al regelmatig onderzoek in een cleanroom gedaan: “Je hebt een uiterste waakzaamheid, want je kan heel eenvoudig fouten maken. Je voelt de adrenaline,” vertelt hij.

Ook de KU Leuven beschikt over enkele cleanrooms. De eerste is gebouwd in 1980 door Baron van Overstraeten, oprichter van Imec, en wordt “de loods” genoemd. Deze werd al in 1984 te klein en diende als embryo voor de cleanrooms in Imec, aldus Puers.

Cleanrooms dienen niet alleen om elektronicachips te maken, maar ook om bijvoorbeeld biotechnologisch onderzoek te doen. “In de medische sector worden ze meestal labo’s genoemd,” vertelt Saelens.

Studenten kunnen zelf niet zomaar aan de slag in een cleanroom. “Ze krijgen een opleiding van een aantal weken. Wanneer we denken dat ze klaar zijn, kunnen ze beginnen,” besluit Puers.

Het artikel over de opening van de cleanroom lees je hier.